Архив 26-27 мая 2016 Физико-математические науки ОТРИМАННЯ МЕТОДОМ ВЧ-РОЗПИЛЕННЯ ТОНКИХ СЕГНЕТОЕЛЕКТРИЧНИХ ПЛІВОК ЦИРКОНАТ-ТИТАНАТУ СВИНЦЮ
pdf ОТРИМАННЯ МЕТОДОМ ВЧ-РОЗПИЛЕННЯ ТОНКИХ СЕГНЕТОЕЛЕКТРИЧНИХ ПЛІВОК ЦИРКОНАТ-ТИТАНАТУ СВИНЦЮ
Владелец Алина
Цалий Володимир Зіновійович
Клето Генадій Іванович
Дремлюженко Сергій Григорович
Чернівецький національний університет ім. Ю. Федьковича,
Чернівці, Україна
Анотація. Проведено осадження тонких плівок цирконат-титанату свинцю на Pt/SiО2/Si (100) і SnО2/SiО2/Si (100) підкладки методом ВЧ-катодного розпилення. Аналіз кристалічної структури ЦТС плівок проводився методом Х-променевої дифракції. Морфологія поверхні, хімічний склад і розмір кристалітів визначались за допомогою скануючого електронного мікроскопа. За петлями діелектричного гістерезису визначені електрофізичні характеристики. Отримані характеристики узгоджуються з характеристиками ЦТС-плівок, виготовлених іншими методами.
Ключові слова: сегнето кераміка, цирконат-титанат свинцю, ВЧ-катодне розпилення