pdf ФОРМИРОВАНИЕ ПЛЕНОК НИТРИДА КРЕМНИЯ В ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМАХ Популярные

Число скачиваний: 135

Колесник Михаил Михайлович

Киев, Украина

В этой статье рассматривается синтез и структура тонких пленок нитрида кремния. Нитрид кремния — соединение с ковалентно-ионной связью, что определяет высокие диэлектрические свойства и твердость, низкие подвижность дислокаций и диффузионную подвижность. Своеобразная кристаллическая структура накладывает отпечаток на характер взаимодействия Si3N4 с тугоплавкими соединениями и металлами, сказывается на анизотропии некоторых физических свойств. Наконец, небольшой температурный коэффициент линейного расширения и низкая плотность делают нитрид кремния особенно привлекательным в качестве термопрочного и жаропрочного материала с высокими удельными характеристиками.