default ОБРАЗОВАНИЕ СИЛИЦИДНЫХ ПЛЕНОК НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ

Владелец Число скачиваний: 71

Исаев Махмудходжа Шарипович

Ташкентский государственный технический университет им. А.Р. Беруни

(Ташкент, Узбекистан)

Аннотация. Рассмотрены вопросы формирования силицидов марганца, хрома и никеля на поверхности монокристаллического кремния в процессе диффузионного легирования. Установлено образование силицидов атомов металла на поверхности кремния. Показано, что форма, размер и поверхностная концентрация силицидов зависят от структуры и состава исходной фазы «марганец-кремний», «хром-кремний», «никель-кремний», а также от температуры образца во время диффузионного легирования. Предполагается образование силицидов металлов на поверхности кремния в виде нанотрубок.

Ключевые слова: силицид, удельное сопротивление, однородность, модуляция, сканирование, фотоэдс, нанотрубка.