default СХЕМОТЕХНІЧНІ ПРИНЦИПИ ПОБУДОВИ СЕНСОРІВ ФІЗИЧНИХ ВЕЛИЧИН НА ПОВЕРХНЕВИХ АКУСТИЧНИХ ХВИЛЯХ

Герасименко Денис Олександрович

Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут»

Науковий керівник: Доцент кафедри електронних приладів

та пристроїв ФЕЛ НТУУ «КПІ», к.т.н., с.н.с. Жовнір Микола Федорович

Київ, Україна

Анотація. Приведені схемо-технічні принципи побудови сенсорів фізичних величин на поверхневих акустичних хвилях (ПАХ), які можуть бути створені на зміні фазової швидкості і акустичної довжини резонатора або лінії затримки на ПАХ внаслідок деформації звукопроводу, зміни фазової швидкості ПАХ внаслідок дії температури, газового середовища, електромагнітного поля на матеріал звукопроводу, зміни акустичної довжини лінії затримки при переміщенні рухомого ПАХ-приймача, зміни фазової швидкості ПАХ при переміщенні механічного зонду (мембрани) в електричному полі хвилі.

Ключові слова: Поверхневі акустичні хвилі (ПАХ), звукопровід, мембрана, механотронних, сенсор, амплітудно-частотна характеристика (АЧХ).