Владелец Олег Число скачиваний: 367
Усатов Андрей Борисович, Комраков Владимир Викторович
Гомель, Беларусь
Задача измерения и визуализации микрорельефа поверхности является актуальной для различных областей науки, промышленности и техники. Кроме известных задач в машиностроении, решение проблемы построения топологической карты поверхности микронной маски также важно для контроля процесса фотолитографии при производстве полупроводниковых интегральных схем.