pdf АЛГОРИТМ ФОРМИРОВАНИЯ 3D-ИЗОБРАЖЕНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ НА ОСНОВЕ ИЗОБРАЖЕНИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ С ПОМОЩЬЮ ОПТИЧЕСКОГО МИКРОСКОПА Популярные

Владелец Число скачиваний: 240

Усатов Андрей Борисович, Комраков Владимир Викторович

Гомель, Беларусь

Задача измерения и визуализации микрорельефа поверхности является актуальной для различных областей науки, промышленности и техники. Кроме известных задач в машиностроении, решение проблемы построения топологической карты поверхности микронной маски также важно для контроля процесса фотолитографии при производстве полупроводниковых интегральных схем.