Архив 25-26 июля, 2015 Технические науки. Транспорт НАПІВПРОВІДНИКОВІ ТЕНЗОРЕЗИСТОРИ НА ОСНОВІ СУЛЬФІДУ САМАРІЯ
pdf НАПІВПРОВІДНИКОВІ ТЕНЗОРЕЗИСТОРИ НА ОСНОВІ СУЛЬФІДУ САМАРІЯ Популярные
Число скачиваний: 360
Петров Р. П.
м. Київ, Україна
Десятиліттями тензорезистори залишаються основними вимірювальними перетворювачами деформації при дослідженні фізичних властивостей матеріалів і конструкцій, зокрема, при міцності випробуваннях в різних галузях науки і техніки і не тільки. Принципово нові можливості в розвитку тензорезисторних датчиків відкрилися з розробкою і дослідженням гетероепітаксійних напівпровідникових структур типу «кремній на діелектрику» [1]. З них найбільш вивчена і технологічно освоєна у виробництві структура «кремній на сапфірі» (КНС), яка є тонкою монокристалічною плівкою кремнію, вирощеною на монокристалічній сапфіровій підкладці з певною кристалографічною орієнтацією. При виготовленні датчиків на структурі КНС формують тензочутливу схему, в якій тензорезистори мають вид мезаструктур, відокремлених один від одної проміжками чистого сапфіру [2].